玻璃晶圆

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玻璃晶圆

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技术参数

关键词：

光学镜片 | 光学窗口 | 半导体晶圆

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产品详情

由于其优越的透光性、极低的荧光强度，极低的膨胀系数、抗热冲击性强，极佳的化学稳定性，极佳的抗刮花效果，极低的含碱量，玻璃晶圆广泛应用于CMOS、CCD传感器、集成电路或微机械元件封装（MEMS）、通信与数据处理、光学、电子产品、军工、科研等高科技产品。我公司长期生产厚度≧0.1mm，外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圆，除常规的Φ4”, Φ5”, Φ6”, Φ8”, Φ12"以外，其它尺寸可以定制。玻璃晶圆通常有Sodalime, Pyrex, Borofloat, Borosilicate (D263T),Corning E-XG, BK7 等材质，需定制其它材质的玻璃晶圆，请联系我们的销售人员。

技术参数

规格	4 inch	5 inch	6 inch	8 inch	12 inch
直径	100 ± 0.1 mm	125 ± 0.1 mm	150 ± 0.1 mm	200 ± 0.1 mm	300± 0.1 mm
厚度	500 ± 5 um 或定制	625 ± 5 um 或定制	675 ± 5 um 或定制	725 ± 5 um 或定制	900± 5 um 或定制
粗糙度	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm
翘曲度	≤ 10um	≤ 10um	≤ 10um	≤ 10um	≤ 10um
平整度	≤ 3 um	≤ 3 um	≤ 3 um	≤ 3 um	≤ 3 um
表面质量	20/10	20/10	20/10	20/10	20/10
形状	圆形；带定位边；带定位角
倒边	45°, SEMI Spec; C Shape
材质	Sodalime, Pyrex, Borofloat, Borosilicate (D263T),Corning eagle XG, BK7, and etc.
备注	玻璃晶圆可定制