石英晶圆

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石英晶圆

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技术参数

关键词：

光学镜片 | 光学窗口 | 半导体晶圆

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石英晶圆片是应用最广泛的光学材料，由于它的高纯度，热膨胀系数低，抗拉强度高，高的光传输和独特的电气性能，石英晶圆片广泛应用于PLC 平面波导分光器芯片、MEMS、高科技半导体等。我公司长期生产厚度≧0.1mm，外形尺寸≧Φ2"的高精密度石英晶圆。除常规的Φ4”, Φ5”, Φ6”, Φ8”, Φ12"以外，其它尺寸可以定制。石英晶圆通常有Corning, Nikon, Heraeus 等材质，需其定制它材质的石英晶圆，请联系我们的销售人员。

技术参数

规格	4 inch	5 inch	6 inch	8 inch	12 inch
直径	100 ± 0.1 mm	125 ± 0.1 mm	150 ± 0.1 mm	200 ± 0.1 mm	300± 0.1 mm
厚度	500 ± 5 um 或定制	625 ± 5 um 或定制	675 ± 5 um 或定制	725 ± 5 um 或定制	900± 5 um 或定制
粗糙度	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm	Ra ≤ 1 nm
翘曲度	≤ 10um	≤ 10um	≤ 10um	≤ 10um	≤ 10um
平整度	≤ 3 um	≤ 3 um	≤ 3 um	≤ 3 um	≤ 3 um
表面质量	20/10	20/10	20/10	20/10	20/10
形状	圆形, 带定位边, 带定位角
倒边	45°, SEMI Spec; C Shape
材质	Corning, Nikon, Heraeus etc.
备注	石英晶圆可定制