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硅晶圆

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产品概要:

硅晶圆多指单晶硅圆片 ,是制造IC的基本原料。晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。通常广泛用在功率器件,数字与模拟集成电路及存储器等芯片。 按其直径分为Φ6”, Φ8”, Φ12”等规格。我公司长期生产厚度≧¬ 0.25 mm,外形尺寸≧Φ 6"的高精密度硅晶圆,除常规的 Φ6”, Φ8”, Φ12”以外,其它尺寸可以定制。需定制其它尺寸的晶圆,请联系我们的销售人员。

关键词:

光学镜片 | 光学窗口  |  半导体晶圆

产品详情

硅晶圆多指单晶硅圆片 ,是制造IC的基本原料。晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。通常广泛用在功率器件,数字与模拟集成电路及存储器等芯片。

按其直径分为Φ6”, Φ8”, Φ12”等规格。我公司长期生产厚度≧¬  0.25 mm,外形尺寸≧Φ 6"的高精密度硅晶圆,除常规的 Φ6”, Φ8”, Φ12”以外,其它尺寸可以定制。需定制其它尺寸的晶圆,请联系我们的销售人员。

 

技术参数

规格 4 inch 5 inch 6 inch 8 inch
直径 100 ± 0.1 mm 125 ± 0.1 mm 150 ± 0.1 mm 200 ± 0.1 mm
厚度 500 ± 5 um
或定制
625 ± 5 um
或定制
675 ± 5 um
或定制
900 ± 5 um
或定制
粗糙度 Ra ≤ 1 nm Ra ≤ 1 nm Ra ≤ 1 nm Ra ≤ 1 nm
翘曲度 ≤ 10um ≤ 10um ≤ 10um ≤ 10um
平整度 ≤ 3 um ≤ 3 um ≤ 3 um ≤ 3 um
表面质量 20/10 20/10 20/10 20/10
表面状态 双面抛光 双面抛光 双面抛光 双面抛光
形状 带定位边, 带定位角
倒边 C Shape
材质 单晶硅
晶向 <111>/<100>/<110>
参杂物 P-type;N-type

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