硅晶圆
所属分类:
产品概要:
硅晶圆多指单晶硅圆片 ,是制造IC的基本原料。晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。通常广泛用在功率器件,数字与模拟集成电路及存储器等芯片。
按其直径分为Φ6”, Φ8”, Φ12”等规格。我公司长期生产厚度≧¬ 0.25 mm,外形尺寸≧Φ 6"的高精密度硅晶圆,除常规的 Φ6”, Φ8”, Φ12”以外,其它尺寸可以定制。需定制其它尺寸的晶圆,请联系我们的销售人员。
关键词:
光学镜片 | 光学窗口 | 半导体晶圆
产品详情
硅晶圆多指单晶硅圆片 ,是制造IC的基本原料。晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。通常广泛用在功率器件,数字与模拟集成电路及存储器等芯片。
按其直径分为Φ6”, Φ8”, Φ12”等规格。我公司长期生产厚度≧¬ 0.25 mm,外形尺寸≧Φ 6"的高精密度硅晶圆,除常规的 Φ6”, Φ8”, Φ12”以外,其它尺寸可以定制。需定制其它尺寸的晶圆,请联系我们的销售人员。
技术参数
| 规格 | 4 inch | 5 inch | 6 inch | 8 inch |
| 直径 | 100 ± 0.1 mm | 125 ± 0.1 mm | 150 ± 0.1 mm | 200 ± 0.1 mm |
| 厚度 | 500 ± 5 um 或定制 |
625 ± 5 um 或定制 |
675 ± 5 um 或定制 |
900 ± 5 um 或定制 |
| 粗糙度 | Ra ≤ 1 nm | Ra ≤ 1 nm | Ra ≤ 1 nm | Ra ≤ 1 nm |
| 翘曲度 | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um |
| 平整度 | ≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um |
| 表面质量 | 20/10 | 20/10 | 20/10 | 20/10 |
| 表面状态 | 双面抛光 | 双面抛光 | 双面抛光 | 双面抛光 |
| 形状 | 带定位边, 带定位角 | |||
| 倒边 | C Shape | |||
| 材质 | 单晶硅 | |||
| 晶向 | <111>/<100>/<110> | |||
| 参杂物 | P-type;N-type | |||
检测设备
落球冲击试验机
AFM原子力显微镜
ZYGO干涉仪
单压试验机
在线咨询